DiffactMOD在衍射光元件，各种窄带滤波器，WDM器件，偏振敏感器件，光互联器件，光数据存储，微透镜阵列以及光分束器和整形器领域都有很好的应用。它还可以用于半导体制造工艺中的光学测试和纳米测量。DirractMOS基于严格的耦合波分析方法，采用了包括Maxwell方程的快速收敛算法等若干新的算法。